研摩レス超平滑研削法の開発（第5報）: 硬脆材料の超高砥石切込み研削の可能性

摘要

超平滑研削法を各種硬脆材料の平面研削加工に適用し，砥石rn切込みの影響を検討した．砥石側端面にダレがあるため，砥石rn切込みを大きくしても，個々の砥粒の最大砥粒切込み深さは大rnきくならず，HPSC，Al_2O_3-TiCの超平滑研削において，砥石切rn込みt_G=1000μmの超高切込み研削が，また，ガラスの場合t_Grn=30μm以上の高切込みの延性モード超平滑研削が可能であrnる．