ボールねじステージにおける電磁ダンパ制御の一研究: ボールねじと小型リニアモータを組み合わせた高スループットステージの実現

摘要

半導体露光装置のウエハステージは微細化を推し進める重要rnな要素技術である．近年は高精度化のためにリニアモータ駆動rnが用いられる場合が多い．しかし，ボールねじ駆動ステージもrnその低価格性から，比較的集積度の緩い装置用には根強い需要rnがある．rnまた，生産設備である露光装置では，精度だけでなく，高いrn生産性を長時間維持することが要請される．ボールねじステーrnジにおいては経年変化によってナット部の剛性が低下し，そのrn結果位置決めに時間を要するという問題点があった．そこで，rn本論文では，ボールねじに小型リニアモータを組み合わせるスrnテージを提案する．主駆動力をボールねじで発生し，リニアrnモータは電磁的な減衰付加手段としてのみ使用することによっrnて，経年変化の影響を受けない高スループットステージを低コrnストに実現することができた．