超精密工作機械向け高精度液温制御装置の開発

摘要

工作機械の熱変形を抑制するためには，熟源の強制冷却が不rn可欠であり，液温制御装置が多用されている．ナノメートルオーrnダの熱変形を問題とする超精密工作機械においては，搭載するrn液温制御装置の性能として，極めて高い温度精度が求められる．rn例えば，熱変形による寸法誤差を300mmの長さで10nm以下とrnするには，鋼の線膨領係数が約12×10~(-6) ℃~(-1)であるから，温度精度rnは±0．0014 ℃以内でなければならない．