積層造形法におけるオーバーレイ誤差の評価方法の開発

摘要

現在さまざまな微細加工技術が開発されているが，光造rn形法に代表される積層造形法は3次元形状自由度に優れるrnため精力的に開発されており，新しい加工原理や分解能のrn改善に関する報告は多い1）．しかしながら構造体の精度，特rnにレイヤ間の重ね合わせ誤差（オーバーレイ誤差）に関すrnる報告は少ない．