計測融合型加工システムによる機上計測

摘要

A calibration method is proposed to compensate the measurement error in in-situ measurement using non-contact probes. In the measurement with a measurement-fused machining system, a displacement for calibration is measured with the probes for reference and profile measurement to calibrate the profile probe according to the reference probe. In this paper, the proposed method is used to compensate the measurement error of a triangular surveying type laser displacement sensor caused by tilting of the measuring surface. The experimental result shows that the error is decreased from ±0.9 μm to ±0.5 μm with the method.%マイクロ切削工具による加工は3次元自由形状の加工が可能rnであるため，様々な分野での微細形状加工に応用されている．rn切削加工においては，工作機械の運動により発生する誤差（母rn性原則による誤差）および加工現象に起因する誤差を抑制するrnことが重要である．