超精密加工機の現状と加工事例

摘要

機械加工による超精密加工は，複雑な形状の加工ができることや，材料選択の自由度が高いという利点が注目され，さまざまな分野に用途を拡大しつつある．本報ではファナック（株）で開発した超精密5軸加工機ロボナノを例に取り，超精密加工を行う際に必要となる機能や適用状況とその加工事例について解説する．