弾性表面波リニアモータ

摘要

弾性表面波リニアモータは，超音波モータの一種であり，リニア駆動である.本稿の著者が初めてこのアクチュエータに出合ったのは，修士課程進学の際に配属された研究室である.当時，東京大学工学部黒澤実助教授のグループが，ニオブ酸リチウム基板上でスライダが動くことを世界で初めて報告した直後の時期であった.予備知識がなかったため，先輩大学院生の発表の中のビデオで白い板の上の小さなスライダが動く様子を見て，驚いたと同時に興味を抱いたことを記憶している.