多機能高速工具サーボFS-FTSを用いた超精密微細加工と計測

摘要

高速工具サーボ(Fast Tool Servo:FTS)は，1980年代半ばごろに開発された技術である.最初は超精密旋盤の振動誤差を補正するために用いられたが，後に非軸対称形状や微細形状などのダイヤモンド切削加工にも活用されるようになつている.筆者らの研究グループは，1990年代後半に当時の機械技術研究所（現•産業技術総合研究所）岡崎祐一氏の指導を受けて，サーフェスエンコーダ用微細基準面の加工にFTSを適用した.加工面の計測評価技術を新たに開発することによって.大面積高精度2軸正弦波状微細表面の高精度切削加工に成功している.