半導体の表面電場を測定する新光学的手法確立太陽電池の表面電場可視化し変換効率向上に貢献

摘要

産業技術総合研究所と、SCREENホールディン グス（京都市）は、大阪大学と、レーザー光の照 射によりシリコン基板表面から発生するテラヘル ツ波の波形を測定する技術と、コロナ放電によっ て表面電荷を制御する技術を組み合わせて、太陽 電池の表面電場※1を計測する手法を開発した。