光ナノインプリント用光硬化性樹脂とその特性評価方法

摘要

ナノインプリント法は近年ナノ加工の有望な手段として注目を集めている．とくに光硬化性樹脂を被転写材料として使用する光ナノインプリントは，低コスト化を可能とし量産プロセスへの適用が期rn待できる・この技術に使用する光硬化性樹脂の要求される特性は，基本プロセス特性と用途別特性に大別される．本報では，7種類の樹脂を用い，それぞれの特性評価方法を例示し，その違いを述べた．基本プロセス特性は，インプリントプロセスを歩留まり良く行うために必要であり，離型性，機械的特性，反応率についての検討結果を示した．とくに離塑性についての検討は重要であり，改善検討が進められている・用途別特性は，最終製品の棟能発現に関係し，その製品ごとに要求項目が異なる．本報では，熱特性，透明性，RTR転写，ドライエッチング，めっきプロセスの検討結果を示した．