Deposition of Hydrocarbon Films by Means of Helium-Ethylene Fed Glow Dielectric Barrier Discharges

著录项

• 来源
  《Plasma processes and polymers》 |2005年第9期|688-694|共7页
• 作者

  Fiorenza Fanelli; Francesco Fracassi; Riccardo dAgostino;

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• 作者单位

  Dipartimento di Chimica UniversitÀ degli Studi di Bari–IMIP CNR via Orabona 4 70126 Bari Italy;

  Dipartimento di Chimica UniversitÀ degli Studi di Bari–IMIP CNR via Orabona 4 70126 Bari Italy;

  Dipartimento di Chimica UniversitÀ degli Studi di Bari–IMIP CNR via Orabona 4 70126 Bari Italy;

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• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  atmospheric pressure glow discharges (APGD); glow dielectric barrier discharges (GDBD); ethylene; plasma enhanced chemical vapor deposition (PECVD);

  机译：大气压辉光放电（APGD）;辉光介电势垒放电（GDBD）;乙烯;等离子体增强化学气相沉积（PECVD）;