Experimental Study and Simulation of Titanium Alloys' Surface Mechanical Properties Modified by Plasma Nitriding: Influence on Adhesion of A-SiC:H Coatings

著录项

• 来源
  《Plasma processes and polymers》 |2007年第1期|746-751|共6页
• 作者

  Mickael Joinet; Jean-Francois Caudrelier; Ismael Guesmi; Laurent Thomas; Charles Chaussavoine; Valerie Lucas; Francis Teyssandier;

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• 作者单位

  PROMES-CNRS Tecnosud—Rambla de la Thermodynamique F-66100 Perpignan France EADS-CCR 12 Rue Pasteur F-92150 Suresnes;

  PROMES-CNRS Tecnosud—Rambla de la Thermodynamique F-66100 Perpignan France;

  PROMES-CNRS Tecnosud—Rambla de la Thermodynamique F-66100 Perpignan France;

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  PROMES-CNRS Tecnosud—Rambla de la Thermodynamique F-66100 Perpignan France;

  EADS-CCR 12 Rue Pasteur F-92150 Suresnes;

  PROMES-CNRS Tecnosud—Rambla de la Thermodynamique F-66100 Perpignan France;

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• 收录信息
• 原文格式 PDF
• 正文语种 eng
• 中图分类
• 关键词

  adhesion; a-SiC:H thin films; computer modeling; mechanical properties; plasma-enhanced chemical vapor deposition (PECVD);

  机译：附着力;a-SiC：H薄膜;计算机建模;力学性能;等离子体增强化学气相沉积（PECVD）;