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机译:氩气/碳氟化合物混合物中DBD远程等离子体的光谱诊断-等离子体参数与薄膜特性之间的相关性
Institut fÜr Plasmaforschung Universitt Stuttgart Pfaffenwaldring 31 Stuttgart 70569 Germany;
Institut fÜr Plasmaforschung Universitt Stuttgart Pfaffenwaldring 31 Stuttgart 70569 Germany;
Institut fÜr Plasmaforschung Universitt Stuttgart Pfaffenwaldring 31 Stuttgart 70569 Germany;
DBD remote plasma; deposition rate; dielectric barrier discharge (DBD); fluorocarbon plasma; FT-IR; FT-IR absorption spectroscopy; plasma polymerization; XPS;
机译:氩气/碳氟化合物混合物中DBD的光谱诊断-等离子体参数与沉积的聚合物薄膜性能之间的相关性
机译:a-SiC:H硬膜沉积条件下Ar-TMS低频等离子体的诊断:与膜成分和机械性能的关系
机译:射频功率对通过乙炔/氮混合物的远程感应耦合等离子体增强的热化学气相沉积制备的碳薄膜性能的影响
机译:寻求用于血管支架涂层的等离子聚合铝胺薄膜的优化:血浆诊断与薄膜特性之间的相关性
机译:等离子体增强了硅薄膜的化学气相沉积:利用等离子体诊断技术表征不同频率和气体成分下的薄膜生长。
机译:具有高度耐用的超疏水和抗反射特性的等离子-聚合物-氟碳薄膜涂层的纳米结构-聚对苯二甲酸乙二酯表面
机译:使用电感耦合等离子体蚀刻O2 / Bcl3 / Ar气体混合物中氧化铟锡氧化物薄膜的蚀刻性能