机译:圆柱空心阴极中氦等离子体的自洽分析
Inst Niedertemp Plasma Phys, D-17489 Greifswald, Germany;
hollow cathode; self-consistent hybrid method; spatially inhomogeneous Boltzmann equation; multi-term expansion; ELECTRON-ENERGY DISTRIBUTION; GLOW-DISCHARGE; HYBRID MODEL; INTERMEDIATE PRESSURES; POSITIVE-COLUMN; ATOMS; MOTION; IONIZATION; EXCITATION; TRANSPORT;
机译:圆柱空心阴极中氦等离子体的自洽分析
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