机译:苯射频等离子体中烟尘的沉积和组成研究
Department of Chemistry Center for Nano-technology RampampD Center for Membrane Technology Chung Yuan Christian University Jhongli Taoyuan 32023 Taiwan;
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Radio frequency plasma; Temperature; Benzene; Polyphenyl; GC/MS;
机译:苯射频等离子体中烟尘的沉积和组成研究
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