机译:热和化学非平衡条件下Ar–H2 sub>射频等离子体反应器的数值模拟
Nano Ceramics Center National Institute for Materials Science 1-1 Namiki Tsukuba Ibaraki 305-0044 Japan;
CSIRO Industrial Physics P.O. Box 218 Lindfield NSW 2070 Australia;
Nano Ceramics Center National Institute for Materials Science 1-1 Namiki Tsukuba Ibaraki 305-0044 Japan;
RF thermal plasmas; Thermal nonequilibrium; Chemical nonequilibrium; chemical kinetics; Species density;
机译:热和化学非平衡条件下Ar-H_2射频等离子体反应器的数值模拟
机译:纳米晶金刚石生长中所关注的非平衡C2H2(1%)/ H-2 / Ar RF等离子体的拟解析动力学模型
机译:膨胀不足的感应等离子流中热和化学非平衡流动和传热的数值模拟
机译:多组分Ar-H2等离子体的热化学非平衡模型
机译:用于加工铌超导射频空腔的氩气和Ar / Cl2等离子体的表征
机译:非等温条件下微生物存活模型的显式数值解
机译:在减压下ar-N2-H2电感耦合等离子体的热和化学非平衡模型
机译:多组分动力学CF4 / 02径向流等离子体化学反应器传热传质的数值模拟