低温レーゼー照射による機能性セラミツスのスィクロ配線化プロセマ

摘要

レーザー集積固化現象を用いた機能性セラミックスの低温マイクロ "印刷"プロセスについて紹介した。同プ口セスには大きくは二つの特徴がある。一つ目は，従来のレーザー直接描画プロセスでは必須の被加工材料の感光性が本手法では必要ないことであり，二つ目はセラミックスのパターン形成技術でありながら，高温焼成工程が必要ないことである。このため，樹脂基板上へのパ夕一ン形成や，焼成温度の異なる他種材料との複合化も可能である。現状，いくつかの共同研究が進みつつあるが， お持ちのセラミックス微粒子で，もし微細パターン化でお悩みがあれば是非ご相談頂きたい。