受動波長ロツク型外部共振器（Passively Locked External Cavity，PLEC）半導体レーザーのキセビテイリングダウン分光による大気微量ガス検出

摘要

実時間での微量ガス検出は，環境モニタリングや医療，rn各種プロセスコントロールの分野で需要が高まっておrnり，1秒～数分以内にppb～ppmレベルのガスを選択的rnに検出可能なレーザー吸収分光法を用いた測定技術は盛rnんに研究されている。