二台の光周波数コムレーザを利用した粗面物体に対する非接触絶対計測

摘要

本研究では光コムのセルフビートを利用した粗面に対する非接触絶対計測の研究を行っている。今回，第二項で説明した原理に基づき実験を行った。3mの距離を10回計測し，計測距離の標準偏差を求めたところ，計測周波数が4.5GHz以上の場合に標準偏差が10μm以下となつた。