半導体露光装置市場は堅調に推移—半導体市場の好調が後押し

摘要

ASML，キヤノン，ニコンの決算発表が出揃い，2014年における半導体露光装置の販売台数が明らかになった。3社合計による露光装置販売台数は230台。各社の内訳だが，ASMLはEUVが5台，液浸ArFが76台，ArF(ドライ)が3台，KrFが39台，i-lineが13台。キヤノンはKrFが14台，i-lineが40台。ニコンは液浸ArFが9台，ArF(ドライ)が11台，KrFが8台，i-lineが12台。なお，ArF装置とKrF装置の光源となるエキシマレーザは基本的に装置に対し，1台が搭載されるため，エキシマレーザの2014年市場は160台と推計する。半導体市場は2014年から回復に転じ，2015年もプラス成長が見込まれている。これに伴う露光装置市場の拡大が期待されている。