ナノ精度コピーによる超高精度ミラーの量産化

摘要

光学システム，光学機器を構成するためにミラーは不 可欠である。ミラーの形状誤差は，光学系において不要 な収差を生む。そのため，形状誤差が可能な限り低減さ れたミラーの開発が長年行なわれてきた。現在，研削，研磨などの機械加工によりPeak-to-valley (PV)で100 nmの精度でミラーを容易に作製可能である。一般的な 可視領域で使用されているミラーの多くは安価であり， 光学性能に影響しない十分高い精度を有している。