殺菌用途，高効率深紫外LEDの開発紫外透明コンタクト層を用いた高光取出し技術

摘要

不純物濃度の低減により，紫外透明p型AlGaNコンタクト層を用いた深紫外LEDのIQE向上に成功した。また,Rhを用いた紫外反射p電極と組み合せることによって,LEEの向上を実現し，EQE10％を超える結果を得た。