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Liquid crystal electro-optic modulator based on transparent conductive TiO_2/Ag/TiO_2 multilayers

机译:基于透明导电TiO_2 / Ag / TiO_2多层膜的液晶电光调制器

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摘要

In this paper, TiO2/Ag/TiO2 multilayers, deposited by magnetron sputtering technique at room temperature are used as transparent conductive layers for Liquid Crystal (LC) devices fabrication. The measured electro-optical modulation characteristics and phase retardation of LC cell based on TiO2/Ag/TiO2 electrode show improved electro-optic performances in comparison with LC reference cell using commercial Indium Tin Oxide (ITO). Low sheet resistance and high transparency of TiO2/Ag/TiO2 multilayers open a great potential for next generation ITO-free liquid crystals electro-optical modulators.
机译:在本文中,通过磁控溅射技术在室温下沉积的TiO2 / Ag / TiO2多层薄膜被用作液晶器件的透明导电层。与使用市售氧化铟锡(ITO)的LC参考电池相比,基于TiO2 / Ag / TiO2电极的LC电池的电光调制特性和相位延迟的测量显示出改进的电光性能。 TiO2 / Ag / TiO2多层膜的低薄层电阻和高透明度为下一代无ITO液晶电光调制器打开了巨大的潜力。

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