中国HG Genuine、 AIXTRONシステムでⅢ-Ⅴ光コンポーネント増産

摘要

AIXTRONS ECよると、中国のWuhan Huagong Genuine Optics Tech Co.,Ltd(武漢華工正源光子技術有限公司)が、InP基板で発光/受光デバイスを生産するために6×2-インチClose Coupled Showerhead(CCS)ェピタキシャル成長システムを発注した。HG Genuineの主任研究員、Zhaozhong Wang氏は、「この新しいシステムで当社は予定していた増産にとりかかり、高品質のェピタキシ製品を開発することができる」とコメントしている。