リソグラフィー用ナノインプリントモールド技術の琭状

摘要

実用化が期待されているナノインプリント技術であるrnが，本格的な実用化にはモールドの製造，供給が必須でrnある。半導体リソグラフィー用，HDDのパターンドメrnディア用，LED用など，直近のターゲットでのプロセrnス開発ともに，モールド側でもまだ解決すべき課題も多rnく，開発の加速が必要である。