CZ法による世界で初めて直径10インチサファイア結晶

摘要

サファイア単結晶は窒化ガリウム（GaN）LED用基板として使われており，現在製造ラインでは，直径2インチから4インチの基板の上に窒化ガリウム膜が気相成長されている。既に市場規模は500億円を超えるようになった。開発では大口径化が進み6インチ，8インチ基板が要求されるようになった。c面以外の非極性基板（a面，m面，r面）を使った高輝度LEDも開発されている。