「絵に描いた餅」を形にする〜 ナノテクノロジープラットフォー厶による迅速微細モノ作り

摘要

「絵に描いた餅」とは，計画が素晴らしくても実現が 伴わないことの例えである。光電子デバイス分野での 「絵」とは「素子のデザィン」ならびに「素子の製造法（プ ロセス）」であり，確かにどんなに美しい「絵」を描い ても「餅」すなゎもデバイスの実現無くして社会は変革 できない。文部科学省事業「ナノテクノロジープラットフォーム（2012-2021年度，以下ナノテクPFと略)」は， 美しい（=学術·産業的に魅力的な）「絵」を美味しい（= 役に立つ）「餅」にする最先端の微細加工素子試作環境 を全国レベルで提供するプロジェクトである。5年間の 活動が軌道に乗り，研究者が身体一つで「ふらっと」拠 点を訪問するだけで，早ければその日のうちに描いた通 りのデバイスが出来上がる時代が到来している。ナノテ クPFは，本記事の主題「微細加工プラットフォーム」 と並び，原子レベルでの解析を得意とする「微細構造解 析プラットフオーム」，分子まで立ち入ったデザインが 可能な「分子•物質合成プラットフォーム」からなる3 プラットフォームと，利用者の連携を図る「センター機 関」から構成されている。運営の厳しい縛りとして「組 織外の利用者に利用機会を提供すること」が義務付けら れているところが特色であり，敷居を感ずることなく気 軽に利用できる体制作りがそれぞれの拠点で行われてい る。微細加工プラットフォームでは，北は北海道から南 は四国•九州まで全国16の拠点が配置されている（図 1)。それぞれ拠点独自の起源をもち，得意とする分野 を伸ばし成長してきた。ナノテクPF事業によって相互 理解と連携が進み，自前の拠点だけでは加工が不可能な案件でも，仲間の拠点で加工が可能であるか問い合わ せ，ベストの拠点の組み合わせを案内することが日常的 に行われている。このように「入り口がどこであっても」 最高の試作環境利用の機会が得られる「オールジャパン の微細加工支援体制」が実現されている。本稿では筆者がプレイングマネージャを務める東大VDEC拠点を紹 介する。