Powłoki PVD i CVD odporne na ścieranie naniesione na ceramikę narzędziową Si_3N_4

摘要

Przedstawiono szczegółowe wyniki badań struktury i własności wielowarstwowych i wieloskładnikowych powłok PVD i CVD wytworzonych na podłożu z narzędziowej ceramiki azotkowej Si_3N_4. Omówiono wyniki badań struktury w transmisyjnym i skaningowym mikroskopie elektronowym oraz własności mechanicznych i trybologicznych badanych powłok.