InfiniteFocus G5 - optyczne urządzenie do pomiaru chropowatości i topografii powierzchni

摘要

InfiniteFocus G5 jest uniwersalnym, dokładnym i szybkim systemem optycznym do pomiarów 3D. Za jego pomocą można wykonać pomiary geometrii, profilu i chropowatości. Urządzenie pozwala na zebranie nawet kilkudziesięciu milionów punktów pomiarowych w bardzo krótkim czasie. W zależności od zastosowanego obiektywu zakres pomiarowy może wynosić od ok. 3 mm przy rozdzielczości pionowej 10 nm do ponad 20 mm przy rozdzielczości 400 nm. Przedmioty mierzone mogą być wykonane z materiałów o bardzo różnej chropowatości i refleksyjności.