Analiza struktur powierzchni mikrowiórów kulistych powstających w procesach obróbki ściernej

摘要

Autorzy przeanalizowali zjawisko kształtowania się struktury geometrycznej powierzchni mikrowiórów kulistych. W celu wyjaśnienia zjawiska tworzenia się pofałdowanej powierzchni mikrowiórów w postaci powłok kulistych przeprowadzono symulacje komputerowe w systemie Ansys.%The authors analyzed the phenomenon of formation of the surface structure of spherical micro-chips. It was carried ou computer simulation in system Ansys in order to explain the phenomenon of creation of complex structures on the chip surface.