Wpływ metody 'sklejania' powierzchni na zmianę wartości parametrów struktury geometrycznej powierzchni

摘要

Analizie poddano kilka struktur geometrycznych powierzchni zmierzonych za pomocą interferometru Talysurf CCI Lite. Wykorzystano trzy typy obiektywów: nr 5. 10, 20. W przypadku obiektywów nr 10 i 20 dokonano sklejania powierzchni, by uzyskać identyczny obszar pomiarowy jak w przypadku obiektywu nr 5. Analizowano wpływ sklejania powierzchni na wartości parametrów SGP.%Several surface topographies were analysed. Measurements were made by interferometer Talysurf CCI Lite using 3 types of lenses: 5, 10, 20. In the case of lenses 10 and 20 surfaces were stitched using software in order to get the same area as in the case of lens 5. The effect of stitching method on the surface topography parameters was studied.