Wpływ zastosowania osłony termicznej profilometru stykowego na wyniki pomiarów stereometrii powierzchni

摘要

Przedstawiono wpływ zmiany temperatury w czasie na wyniki pomiarów stereometrii powierzchni oraz skuteczność zastosowania osłony profilometru stykowego w celu zmniejszenia wahań temperatury oddziałującej na przyrząd pomiarowy, co decyduje o pojawieniu się składowej falistości w osi Y.