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A multichannel detector array with 768 pixels developed for electron spectroscopy

机译:用于电子光谱学的具有768像素的多通道探测器阵列

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摘要

A one-dimensional detector array using MCP technology in conjunction with a custom ASIC is presented. The ASIC features 768 pixels, each 3 mm in length on a pitch of 25 μm, giving a length in the dispersive direction of 19.2 mm. The chip and MCP are mounted on a ceramic and stainless steel assembly that replaces the conventional channeltron in an electron energy analyser. Results are presented showing key aspects of the detector, including the yield of the chip at wafer stage, the vacuum compatibility of the system, the speed of readout, uniformity of response and maximum count rate.
机译:提出了使用MCP技术与定制ASIC结合的一维检测器阵列。 ASIC具有768个像素,每个像素的长度为3 mm,间距为25μm,在分散方向上的长度为19.2 mm。芯片和MCP安装在陶瓷和不锈钢组件上,该组件在电子能量分析仪中取代了常规的通道加速器。结果显示了检测器的关键方面,包括晶片阶段的芯片成品率,系统的真空兼容性,读出速度,响应均匀性和最大计数率。

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