机译:低温纳米晶碳化硅涂层CVD工艺的模拟与实验研究
Bhabha Atom Res Ctr, Mat Grp, Bombay 400085, Maharashtra, India;
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机译:在低衬底温度下通过VHF-PECVD沉积的n型氢化纳米晶立方碳化硅膜的性能
机译:立式CVD反应器中碳化硅的流行病-实验结果与数值模拟。
机译:FCVD工艺及其动力学研究Zircaloy-4管碳化硅薄膜涂层及其动力学研究
机译:HWCVD和VHF-PECVD低温沉积氢化纳米晶立方碳化硅薄膜
机译:氮化硅和硬质碳化钨工具上的微波辅助CVD金刚石涂层的分析和实验研究以及几种过渡金属上多晶金刚石的生长
机译:使用高温纳米压痕在不同沉积条件下生产的碳化硅涂层的比较研究
机译:低温CVD工艺生产的钨碳化物涂层的性质和实用结果