耐環境性と故障解析・評価に焦点デバイス製造の信頼性高める新技術

摘要

制御系，情報系の両面で電子化が加速する自動車や，ユビキタス社会の基盤となるモバイル端末など電子機器の小型・多機能化に拍車がかかつている。それをけん引する半導体製造の要諦ともいえるのが，ゼロデフェクト（故障発生率ゼロ）を目指した信頼性技術である。2006年9月22日（金）に開催された「第3回信頼性フォーラム」（主催・日経マイクロデバイス）では，耐環境性や故障解析など最新の課題が浮き彫りになった。