バッチ式と枚葉式を両輪展開45nm以降の量産プロセスを実現: 「FC-3000/3100」と「SU-3000」でソリューションを構築

摘要

45nm以降の量産プロセスでは，洗浄処理に対する要求は一段と厳しくなる。微細化に対応した技術革新はもちろんのこと，一方では高い生産性と高い歩留りが求められる。大日本スクリーン製造は，バッチ式装置と枚葉式装置のそれぞれの長所を生かすことで，こうした課題を解決する考えだ。今回の講演では，同社のソリューションを支えるバッチ式洗浄装置「FC-3100シリーズ」と枚葉式洗浄装置「SU-3000シリーズ」の技術を解説した。