MEMSプロジェクト/圧電素子のMEMSミラー/SiTimeのSi発振器戦略はか

摘要

文部科学省　科学技術・学術政策局が進める「先端融合領 域イノベーション創出拠点の形成」プロジェクトの1テーマ「マ イクロシステム融合研究開発」として，産学協同プロジェク トが2007年夏に始まった。さまざまなMEMS（micro electro mechanical systems）技術の早期の実用化を目指す。科学技 術振興調整費を活用し，このテーマの予算は初年度に3億円 である。