テスト・コストの低減にまい適多数個の同時測定を強化

摘要

2009年の最重要課題はテスト・コスト のさらなる低減である。デバイスやアプ リケーションごとに適したコスト効率の 高いテスト手法を提供していく。 特に，価格下落が激しいNAND型フ ラッシュ・メモリーのメーカーは，テスト・ コスト低減を強く求めている。ここでは， 同時に測定できるチップ数を増やす取り 組みに力を入れる。現状では500個を超 える程度だが，今後は1000個を超える水 準に高めたい。その手法を検討中である。 このほか，可能な範囲でテストを簡略化 する手法を提案していく。動作速度が遅 いデバイス領域の試験では，簡易なテス ターで対応するといった方法である。