最先端デバイスを支える製造装置を展開高度な檆能と生産性を乮立させた装置に注目: 最先端lsiや不揮発性メモリ，ledまで広く対応

摘要

アルバックは，真空技術をコアにして電子デバイス，マイクロマシン，太陽電池，化学，ナノrnテクノロジー，バイオテクノロジーなど様々な分野に向けた製造・加工装置を展開している。rn中でも同社が得意とする電気・電子分野では，各種半導体デバイスやフラットパネル・ディスプrnレイ，電子部品，オプトデバイスなどに向けた数多くの装置を提供している。これらの装置のrn中で特に最近，市場での動きが活発な製品について同社に聞いた。