RF MEMSの研究成果大手がIEDMで相次ぎ発表

摘要

半導体関連の国際学会「2007 IEDM（IEEErnInternational Electron Devices Meeting）でrnMEMSに関する発表が相次いだ。これまrnでのIEDMでは，MEMS関連は“キワモノ”技rn術とも言われる「Emerging Technology」としrnて発表されてきた。今回は，大手企業が実用rn化を意識して発表するようになっている。なかrnでもRF（無線周波）関連では，こうした発表がrn続出した。台湾Taiwan Semiconductor Manu-rnfacturing Co.,Ltd.（TSMC）とオランダNXPrnSemiconductors社の共同研究機関であるオラrnンダNXP-TSMC Research CenterがSi振動子，rn東芝が次世代携帯電話機向け無線回路，NTTrnがMEMSインダクタなどを集積したCMOSLSIrnをそれぞれ発表している。また2件の基調講rn演でもMEMSについて紹介された。