5/6輘のモーション・センサー独自mems構造で1チップ化

摘要

3軸加速度と3軸角速度の6軸を1チップで検出できるMEMSセンサーを米国rnのベンチャ企業が開発した。このセンサーは，ーつの重りだけで加速度と角速度rnを検知できるためチップ面積を縮小して低コスト化しやすい。まずは5軸品（3rn軸加速度と2軸角速度）を2009年第4四半期～2010年第1四半期に製品化すrnる。自動車の横滑り防止用のESC（electronic stability control）システムで使わrnれている既存センサーの置き換えを狙う。今回,このデバイスのプロセス開発者rnが，その原理と製造技術の詳細を明らかにした。