450mm対応の装置・材料「セミコン・ジャパン」で出展相次ぐ

摘要

2008年12月3～5日の「セミコン・ジャrnパン2008」では，450mmウェーハに対応rnする製造装置や材料の出展が相次ぃだ。rn450mm対応のロードポートや搬送ロボッrnト，450mm径のSiインゴットなどである。rnただし，製造装置につぃてはウェーハ搬rn送にかかわるものが大半であり，露光やrnェッチングに対応するようなウェーハ・プrnロセス用の装置は登場してぃなぃ。2009rn年以降の「セミコン・ジャパン」では，ウェrnーハ・プロセス用装置の450mm対応に関rnする展示や発表に注目が集まりそうだ。