フォトマスク: 価格高騰でマスクレスヤヒの動きも

摘要

Siウエハー上にLSIの回路配線を形成するための 原版。フォトマスクの価格は，微細化の進展とともに 高騰している。マスクー式の価格は65nm世代で約1 億円だが，45nm世代では約2億円，32nm世代では 約4億円に跳ね上がる見通しだ。マイクロプロセサ やメモリのような汎用LSIではあまり問題にならない が，ASICのように生産量の少ないLSIではコストを 大きく増やす要因になる。ASICから汎用LSIへの 置き換えが最近，急速に進んでいる原因の一つにな っている。