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Electroplating of micro-patterned tools via replication of silicone rubber forms

机译:通过复制硅橡胶模板来电镀微细图案的工具

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摘要

A two-step replication process is described, allowing the non-destructive reproduction of micro-patterned tools. The first step comprises the embedding of the original part into silicone resin, the resin curing, and the separation of the part from the silicone rubber. The outstanding plasticity and the weak adherence of silicone rubber to most substrate materials facilitate retaining the original part. The second replication step, electroforming, requires silicone rubber metallization and contacting. The demonstrated technique is qualified mainly due to successful precautions against replication artifacts, related to silicone rubber deformability.
机译:描述了两步复制过程,可以无损复制微图案工具。第一步包括将原始零件嵌入到硅树脂中,树脂固化以及将零件与硅橡胶分离。硅橡胶出色的可塑性和对大多数基材的弱粘合性有助于保留原始零件。第二个复制步骤(电铸)需要硅橡胶金属化和接触。所证明的技术之所以合格,主要是因为成功预防了与硅橡胶变形能力有关的复制伪影。

著录项

  • 来源
    《Microsystem Technologies》 |2006年第9期|870-876|共7页
  • 作者单位

    Forschungszentrum Karlsruhe Institut für Materialforschung III P.O. Box 3640 76021 Karlsruhe Germany;

    Forschungszentrum Karlsruhe Institut für Materialforschung III P.O. Box 3640 76021 Karlsruhe Germany;

    Forschungszentrum Karlsruhe Institut für Materialforschung III P.O. Box 3640 76021 Karlsruhe Germany;

    Forschungszentrum Karlsruhe Institut für Materialforschung III P.O. Box 3640 76021 Karlsruhe Germany;

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