2006 ASME-ISPS/JSME-IIP joint conference on micromechatronics for information and precision equipment, Santa Clara, California, USA

I. Y. Shen; S. Saegusa

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2006 ASME-ISPS/JSME-IIP joint conference on micromechatronics for information and precision equipment, Santa Clara, California, USA

机译：2006年ASME-ISPS / JSME-IIP信息和精密设备微机电一体化联合会议，美国加利福尼亚州圣克拉拉

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来源
《Microsystem Technologies》 |2007年第10期|731-732|共2页
作者
I. Y. Shen; S. Saegusa;
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作者单位

Department of Mechanical Engineering University of Washington Seattle WA 98195-2600 USA;

Collaborative Research Center Hiroshima University VBL Office 313 Kagamiyama 2-chome 739-8527 Higashi-Hiroshima Japan;

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