机译:具有软悬架梁的微结构硅膜,用于高性能MEMS微型扬声器
CNRS, Institut d’Electronique Fondamentale, Univ. Paris Sud, 91405, Orsay Cedex, France;
CNRS, Institut d’Electronique Fondamentale, Univ. Paris Sud, 91405, Orsay Cedex, France;
CNRS, Institut d’Electronique Fondamentale, Univ. Paris Sud, 91405, Orsay Cedex, France;
CNRS, Institut d’Electronique Fondamentale, Univ. Paris Sud, 91405, Orsay Cedex, France;
CNRS, Institut d’Electronique Fondamentale, Univ. Paris Sud, 91405, Orsay Cedex, France;
CNRS, Institut d’Electronique Fondamentale, Univ. Paris Sud, 91405, Orsay Cedex, France;
CNRS, Laboratoire d’Acoustique, Université du Maine, 72085, Le Mans, France;
CNRS, Laboratoire d’Acoustique, Université du Maine, 72085, Le Mans, France;
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