ЗАВИСИМОСТЬ ГЕОМЕТРИИ ЭЛЕКТРОДА ОТ ТЕМПЕРАТУРЫ ЭЛЕКТРОЛИТА В ПРОЦЕССЕ ОСАЖДЕНИЯ ТОЛСТОГО СЛОЯ МЕДИ В МНОГОСЛОЙНЫХ ТУННЕЛЬНЫХ СТРУКТУРАХ

摘要

Исследованны зависимость изгиба поверхности электрода Ag/Cu и его знака изгиба (выпуклость и вогнутость поверхностей электородов) от температуры электролита в процессе осаждения толстого слоя меди для получения двух конформных поверхностей в многослойных структурах типа Si/Ti/Ag/Cu. Конформность (взаимоповторяемость) электродов необходима для создания термотуннельных холодильников и генераторов мощности с вакуумным нанозазором, которые являются перспективными источниками электроэнергии, принцип работы которых основан на туннелировании электронов. Кроме того, оценена площадь контакта между поверхностями электродов Si/Ti и Ag/Cu.