НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ ДЛЯ МИКРО-И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЧАСТЬ 6. СОСТАВ СЛОЕВ РУТЕНИЯ

г. В. Ю. Васильев; S. H. Chung; Y. W. Song

首页> 外文期刊>Микроэлектроника >НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ ДЛЯ МИКРО-И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЧАСТЬ 6. СОСТАВ СЛОЕВ РУТЕНИЯ

【24h】

НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ ДЛЯ МИКРО-И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЧАСТЬ 6. СОСТАВ СЛОЕВ РУТЕНИЯ

机译：用于微电子和纳米电子的金属钌薄层的低温脉冲气相沉积。第6部分。钌层的组成

获取原文

获取原文并翻译 | 示例

开具论文收录证明 >>

页面导航

摘要
著录项
引文网络
相似文献
相关主题

摘要

Проанализирован состав тонких слоев рутения, синтезированных при импульсном осаждении из газовой фазы с участием комплексного карбон ил-диенового прекурсора Ru(CO)_3(C_6H_8), а также NH_3, N_2O, H_2 в качестве второго реагента. Сформулированы схемы процессов роста низкотемпературных слоев рутения, объясняющие роль вторых реагентов в ходе процессов осаждения.

机译：分析了通过脉冲气体气相沉积法合成的钌薄层的组成，其中包括复杂的碳基二烯前驱体Ru（CO）_3（C_6H_8），以及NH_3，N_2O，H_2作为第二试剂。制定了低温钌层生长过程的方案，该方案解释了第二种试剂在沉积过程中的作用。

著录项

来源
《Микроэлектроника》 |2013年第1期|62-75|共14页
作者
г. В. Ю. Васильев; S. H. Chung; Y. W. Song;
展开▼
作者单位

Новосибирский Государственный Технический Университет, кафедра Полупроводниковых приборов и микроэлектроники (ППиМЭ);

Korea Polytechnic University, Department of Nano-Optics Engineering;

Korea Polytechnic University, Department of Nano-Optics Engineering;

展开▼
收录信息
原文格式 PDF
正文语种 rus
中图分类
关键词
рутений; импульсное осаждение из газовой фазы; карбонил-диеновый прекурсор; элементный состав; схемы роста слоев;

机译：钌;脉冲气相沉积羰基二烯前体;元素组成层增长模式;

相似文献

外文文献
中文文献
专利

1. БОЯН ТО.6.0РОВ: НА.6.ЯВАМ СЕ, ЧЕ VСПЕWНИЯТ СТАРТ НА ГРАНVЛИРАНИЯ ПОЛИМЕР - ОUВЕТИТЕЛ ЗА АСФАЛТ, ШЕ РАЭКРИЕ НОВИ В'ЬЗМОЖНОСТИ ЗА ИЗГРАЖ.6.АНЕТО НА Е.6.НА ПО-КРАСИВА, ПО-ПРИЯТНА И ПО-ФVНКUИОНАЛНА П'ЬТНА И ГРА.6.СКА ИНФРАСТРVКТУРА [J] . Стандартизация, метрология, сертификация . 2010,第11a12期

机译：Boyan T.6.0UROV：D.6更多FVnguional P'ht和Gr。
2. БОЯН ТО.6.0РОВ: НА.6.ЯВАМ СЕ, ЧЕ VСПЕWНИЯТ СТАРТ НА ГРАНVЛИРАНИЯ ПОЛИМЕР - ОUВЕТИТЕЛ ЗА АСФАЛТ, ШЕ РАЭКРИЕ НОВИ В'ЬЗМОЖНОСТИ ЗА ИЗГРАЖ.6.АНЕТО НА Е.6.НА ПО-КРАСИВА, ПО-ПРИЯТНА И ПО-ФVНКUИОНАЛНА П'ЬТНА И ГРА.6.СКА ИНФРАСТРVКТУРА [J] . Стандартизация, метрология, сертификация . 2010,第11a12期

机译：Boyan T.6.0UROV：D.6更多FVnguional P'ht和Gr。
3. БОЯН ТО.6.0РОВ: НА.6.ЯВАМ СЕ, ЧЕ VСПЕWНИЯТ СТАРТ НА ГРАНVЛИРАНИЯ ПОЛИМЕР - ОUВЕТИТЕЛ ЗА АСФАЛТ, ШЕ РАЭКРИЕ НОВИ В'ЬЗМОЖНОСТИ ЗА ИЗГРАЖ.6.АНЕТО НА Е.6.НА ПО-КРАСИВА, ПО-ПРИЯТНА И ПО-ФVНКUИОНАЛНА П'ЬТНА И ГРА.6.СКА ИНФРАСТРVКТУРА [J] . Стандартизация, метрология, сертификация . 2010,第11a12期

机译：Boyan T.6.0UROV：D.6更多FVnguional P'ht和Gr。
4. 高流動コンクリートの材料分離抵抗性および間隙通過時の性能の評価その6．小型壁モデル型枠への打込み実験結果 [C] . 丹羽大地, 太田貴士, 鹿毛忠継, 日本建築学会大会;日本建築学会 . 2020

机译：高流量混凝土材料分离电阻和间隙通道的评价。第6部分。入侵实验结果进入小墙模型模型
5. An investigation of the effect of interventions based on common core mathematical practices on the math achievement of struggling students in grade 6. [D] . Murthy, Geetha J. 2016

机译：基于共同核心数学实践的干预措施对六年级奋斗学生的数学成绩的影响研究。
6. 2020 Korean Guidelines for Cardiopulmonary Resuscitation. Part 6. Pediatric basic life support [O] . Jisook Lee, Do Kyun Kim, Eun Kyeong Kang, 2021

机译：2020韩国心肺复苏指南。第6部分儿科基本寿命支持
7. The Tutorial Arithmetic. By W. P. WorkmanM.A., B.Sc. 3/6. (The University Tutorial Series.) - Arithmetic. By R. HargreavesM.A. 4/6. (Clarendon Press.) - Arithmetic. By A. Veitch LothianM.A., B.Sc. (Blackwood and Sons.) - A South African Arithmetic. 3/6. By Henry HillB.A. (Methuen and Co.) [O] . 1902

机译：教程算术。由W. P. Workmanm.a。，B.Sc. 3/6。（大学教程系列。） - 算术。由r. hargreavesm.a。 4/6。（Clarendon Press。） - 算术。由A. Veitch Lothianm.a，B.Sc.。（Blackwood和Sons。） - 南非算术。 3/6。亨利·赫伯巴。（Methuen和Co.）
8. Notice of Proposed Amendments to the Manual on Uniform Traffic Control Devices, FHWA Docket No. 89-1, Notice No. 6. Part 6. Traffic Controls for Street and Highway Construction, Maintenance, Utility, and Emergency Operations [R] . 1993

机译：关于统一交通控制设备手册的拟议修正案的通知，FHWa案卷号89-1，第6号通知。第6部分。街道和公路建设，维护，公用事业和紧急行动的交通管制

НИЗКОТЕМПЕРАТУРНОЕ ИМПУЛЬСНОЕ ГАЗОФАЗНОЕ ОСАЖДЕНИЕ ТОНКИХ СЛОЕВ МЕТАЛЛИЧЕСКОГО РУТЕНИЯ ДЛЯ МИКРО-И НАНОЭЛЕКТРОНИКИ. ЧАСТЬ 6. СОСТАВ СЛОЕВ РУТЕНИЯ

摘要

著录项

引文网络

相似文献

相关主题

期刊订阅