ВЫБОР ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ ИОНИЗАЦИОННЫХ ЭФФЕКТОВ В КРЕМНИЕВЫХ МИКРОСХЕМАХ ОБЪЕМНОЙ ТЕХНОЛОГИИ

摘要

Обоснован метод повышения эффективности использования энергии лазерного излучения (ЛИ) для создания высоких уровней эквивалентной мощности дозы, основанный на уменьшении длины волны излучения. Показано, что оптимальный диапазон энергий ЛИ для моделирования объемных ионизационных эффектов в КМОП-микросхемах, выполненных по объемной технологии, лежит в пределах от 1.08 до 0.97 мкм.