ВЫБОР ОПТИМАЛЬНЫХ ПАРАМЕТРОВ ЛАЗЕРНОГО ИЗЛУЧЕНИЯ ДЛЯ МОДЕЛИРОВАНИЯ ОБЪЕМНЫХ ИОНИЗАЦИОННЫХ ЭФФЕКТОВ В ТОНКОПЛЕНОЧНЫХ КРЕМНИЕВЫХ МИКРОСХЕМАХ

摘要

Обоснован метод повышения эффективности использования энергии лазерного излучения (ЛИ) для создания высоких уровней эквивалентной мощности дозы, основанный на уменьшении длины волны излучения. Показано, что оптимальный диапазон энергий Л И для моделирования объемных ионизационных эффектов в КМОП-микросхемах, выполненных по технологии "кремний-на-изо-ляторе" (КНИ) и "кремний-на-сапфире" (КНС) в общем случае зависит от технологических особенностей изготовления и лежит в пределах от 0.9 до 0.75 мкм.